Метка: измерительная техника

Команда разрабатывает кремниевые фотонные МЭМС, совместимые с производством полупроводников.

Команда исследователей во главе с адъюнкт-профессором Сиднейского университета Нильсом Кваком разработала новую технологию объединения оптики и микроэлектромеханических систем (MEMS) в микрочипе, прокладывая путь для создания таких устройств, как микро-3D камеры и газовые датчики для точного измерения качества воздуха, включая их используется в мобильных телефонах. Опубликованный 20 марта в журнале Microsystems and NanoEngineering, новый процесс микропроизводства […]